Ионное Внедрение (ионная имплантация) краткая биография(статья) в Большом энциклопедическом интернет словаре

, введение посторонних (примесных) атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его ионами; способ легирования полупроводников.

В других словарях:
...